5-осевые фрезерованные керамические изоляторы для полупроводникового оборудования и чистых помещений

В мире производства полупроводников и чистых помещений, где ставки высоки, каждый компонент должен обеспечивать безупречную работу.ПФТ, мы специализируемся на изготовлении5-осевые фрезерованные керамические изоляторыкоторые выводят точность и надежность на новый уровень. Более 20Благодаря многолетнему опыту наши решения разработаны с учетом строгих требований к полупроводниковому оборудованию, обеспечивая термостабильность, электроизоляцию и работу без загрязнений в сверхчувствительных условиях.

Почему стоит выбрать наши 5-осевые фрезерованные керамические изоляторы?

1.Расширенные производственные возможности

Наш объект оснащенсовременные 5-осевые фрезерные станки с ЧПУ, обеспечивая микронную точность формования передовых керамических материалов, таких как оксид алюминия (Al₂O₃), карбид кремния (SiC) и нитрид алюминия (AlN). В отличие от традиционных методов, 5-координатная обработка позволяет создавать сложные геометрические формы, критически важные для таких компонентов, как штифты для подъёма пластин, детали камер осаждения и плазмостойкие изоляторы.

Основные характеристики:

•Точность:Допуск ±0,005 мм для бесшовной интеграции в литографические инструменты ASML или системы травления Lam Research.
•Универсальность материала:Оптимизировано для 99,8% оксида алюминия, высокочистого SiC и других современных видов керамики.
•Отделка поверхности:Ra <0,2 мкм для минимизации образования частиц в чистых помещениях класса ISO 1.

2.Запатентованная технология разработки процессов

Наши инженеры разработализамкнутый контур управления процессамикоторые адаптируются к хрупкости керамики во время обработки. Сочетая методы сухого фрезерования с гашением вибраций в реальном времени, мы добиваемся отсутствия трещин на поверхности и увеличения срока службы компонентов — даже при экстремальных перепадах температур (до 1600 °C).

В центре внимания инновации:

•Протоколы снятия стресса:Минимизировать микротрещины в изоляторах из нитрида алюминия для CVD-приложений.
•Постобработка:ГИП (горячее изостатическое прессование) повышает плотность и коррозионную стойкость.

3.Строгий контроль качества

Каждый изолятор подвергается12-этапная проверка, включая:

•КИМ (координатно-измерительная машина)проверка критических размеров.
•Испытание на утечку гелиядля совместимости с вакуумом.
•EDS (энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия)для проверки чистоты материала.

НашСистема, сертифицированная по ISO 9001/14001обеспечивает прослеживаемость от закупки сырья (полученного от поставщиков первого уровня, таких как CoorsTek) до окончательной упаковки.

Приложения: где точность встречается с производительностью

Нашим изоляторам доверяют:

•Инструменты для травления и осаждения:Компоненты с покрытием SiC для стойкости к плазме в модулях Applied Materials™.
•Ионные имплантаторы:Подъемные штифты из оксида алюминия с антистатическим покрытием для предотвращения соскальзывания пластины.
•Метрологические системы:Изоляторы с низким тепловым расширением для этапов EUV-литографии.

Пример исследования:Ведущий производитель полупроводниковых приборов сократил время простоя инструмента на 40% после перехода на наши специально разработанные насадки из SiC, которые превзошли по производительности детали конкурентов при обработке пластин диаметром 300 мм.

За пределами производства: партнерский подход

•Быстрое прототипирование:Отправьте свои CAD-файлы и получите функциональные прототипы через 7 дней.
•Упаковка в чистых помещениях на месте:Дополнительная сборка в чистом помещении класса 10 для непосредственной интеграции инструментов.
•Пожизненная техническая поддержка:Наши инженеры предоставляют услуги по анализу износа и повторной обработке для продления жизненного цикла компонентов.